차세대 리소그래피

조직위원회

조직위원회 위원 명단

(총괄)위원장: 박종락(조선대), 안진호(한양대)

(소위원회)

총무위원회

위원장

남정림(한양대)

위원

김대근(단국대), 김병국(이솔), 이병호(히타치하이테크)

재무위원회

위원장

차병철(Entegris)

위원

여정호(AMAT), 이병규(삼성전자), 이혁교(KRISS), 정용철(KITECH), 최준혁(KIMM)

출판위원회

위원장

이대호(가천대)

위원

전병환(인하대), 정연식(KAIST)

논문상심사위원회

위원장

김성환(한양대)

위원

이상설(포항공대 가속기연구소), 이준호(공주대), 이진균(인하대)

자문위원회

위원장

김향균(홍익대)

위원

강경태(KITECH), 김성수(서울대), 김재순(명지대), 백기호(D2S), 송윤호(피코백), 안승준(선문대), 오혜근(한양대),
유우식(WaferMasters), 이승걸(인하대), 조한구(FST), 한재원(연세대)

프로그램위원회

프로그램위원회 위원 명단

(총괄)위원장: 이병호(히타치하이테크), 이준호(공주대)

(분과위원회)(가나다순)

Optical and EUV
Lithography

위원장

이상설(포항공대 가속기연구소)

위원

강영석(삼성전자), 김건수(LG전자), 김병국(이솔), 김성수(서울대), 김후식(뷰웍스), 남정림(한양대), 문성용(FST), 박동운(SEMES),
박종락(조선대), 승병훈(S&S TECH), 안진호(한양대), 여정호(AMAT), 이윤우(KRISS), 이혁교(KRISS),
임창문(SK hynix), 전영민(KIST), 정수화(LG전자), 최성운(HIMS), 최성원(FST),
최정동(TechInsights), 최진(삼성전자), 한재원(연세대), 황찬(삼성전자)

Patterning Materials
and Processes

위원장

이진균(인하대), 허수미(전남대)

위원

고차원(삼성전자), 김명웅(인하대), 김현우(삼성전자), 복철규(동진세미켐), 여기성(JSR), 우상균(SEMES), 유정윤(Versum Materials),
임재봉(DuPont), 장지현(UNIST), 전성호(LG화학), 정진항(ASML), 정현담(전남대), 차병철(Entegris)

Alternative Lithography
and Nano Fabrication

위원장

이승우(고려대), 전석우(고려대)

위원

강경태(KITECH), 김대근(단국대), 김명기(고려대), 김선경(경희대), 김성환(한양대), 노준석(포항공대), 이대호(가천대),
이병규(삼성전자), 정건영(GIST), 정연식(KAIST), 정용철(KITECH), 최준혁(KITECH)

Computational
Lithography

위원장

양현조(ASML)

위원

고성우(SK hynix), 김령한(IMEC), 서정훈(ASML), 신영수(KAIST), 안창남(Siemens EDA), 양승훈(삼성전자),
오혜근(한양대), 이승걸(인하대), 최병일(Synopsys)

Metrology and
Inspection

위원장

이명준(삼성전자)

위원

김대석(전북대), 김두리(한양대), 김영식(KRISS), 김욱래(삼성전자), 김재완(KRISS), 김태곤(한양대),
김향균(홍익대), 류성윤(삼성전자), 마성민(SK hynix), 박병천(KRISS), 안희경(KRISS), 이성우(Carl-Zeiss),
이성은(삼성전자), 이종규(미래로시스템), 임선종(KIMM), 장무석(KAIST), 전병환(인하대), 조태영(삼성전자),
주기남(조선대), 진종한(KRISS)

Dry Etch

위원장

정진욱(한양대)

위원

권광호(고려대), 김동찬(ASML Brian), 김무성(Gauss Lab), 김용진(SK hynix), 김윤재(삼성전자), 민경진(명지대), 박종철(삼성전자), 배근희(삼성전자),서희찬(SK hynix), 양장규(삼성전자), 염근영(성균관대), 유신재(충남대),
임연호(전북대), 조성일(삼성전자), 한영훈(SK hynix), 홍상진(명지대)