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2024 차세대 리소그래피 + 패터닝 학술대회

8/12-13, 2024
Suwon Convention Center, Suwon-si, Gyeonggi-do, Korea / Online/Offline Hybrid



| 1st Day | Aug. 12, 2024 (Mon.)


08:00-09:00


Registration



09:00-10:25




PL-I Plenary Session 『405-408』

Chair: 김용진 (SK hynix)







  • Opening Remarks
    프로그램위원장 개회사, 이병호 (히타치하이테크)


  • Plenary Talk 1
    배근희 (삼성전자)


  • Plenary Talk 2
    Erik R. Hosler (FylEx and xLight)







10:25-10:45


Break



10:45-12:15








  • EU-I-1
    초청 민철기 (삼성전자)


  • EU-I-2
    초청 이동근 (ESOL)


  • EU-I-3
    초청 김동언 (포스텍)











  • MI-I-1
    초청 한상현 (NOVA)


  • MI-I-2
    초청 정재훈 (삼성전자)


  • MI-I-3
    초청 장무석 (KAIST)





































12:15-13:30


Lunch / Break



13:30-15:00








  • EU-II-1
    초청 김황범 (SK hynix)


  • EU-II-2
    초청 승병훈 (S&S TECH)


  • EU-II-3
    초청 김형준 (한국세라믹기술원, KICET)











  • MI-II-1
    초청 Sean Park (KLA)


  • MI-II-2
    초청 장혜진 (서울대)


  • MI-II-3
    초청 Eugen Foca (Zeiss)











  • ET-I-1
    초청 이재원 (SK hynix)


  • ET-I-2
    초청 임연호 (전북대)


  • ET-I-3
    초청 정진욱 (한양대)








15:00-15:20


Break



15:20-16:50




PL-II Plenary Session II 『405-408』

Chair: 이명준 (삼성전자)






  • Welcome Remarks
    조직위원장 환영사, 안진호 (한양대)



  • 한국광학회 (차기)회장 축사, 이상민 (KAIST)


  • Plenary Talk 3
    양유신 (삼성전자)


  • Plenary Talk 4
    서재욱 (SK hynix)







16:50-17:10


Break



17:10-18:30




Panel Discussion 『405-408』

Chair: 이상설 (포스텍)






  • 주제


  • “Scale down (EUV HNA Challenges) + 3D Architecture”





  • 패널: 고차원(연세대), 김재현(SK hynix), 양유신(삼성전자), 배근희(삼성전자), 서재욱(SK hynix), 최리노(인하대)







18:30-20:30






  • Banquet 『마키노차야 광교점』


  • 진행: 남정림 (한양대)










2023 차세대 리소그래피 학술대회

8/21-22, 2023

Suwon Convention Center, Suwon-si, Gyeonggi-do, Korea / Online/Offline Hybrid


2022 차세대 리소그래피 학술대회

11/17-18, 2022

Suwon Convention Center, Suwon-si, Gyeonggi-do, Korea / Online/Offline Hybrid


2022 차세대 리소그래피 학술대회 단기강좌

6/28-7/1, 2022

부산 센텀프리미어 호텔 / 대면 비대면 동시진행


2021 차세대 리소그래피 학술대회

11/17-18, 2021

Alpensia Convention Center, Pyeong Chang / Online/Offline Hybrid


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