2024 차세대 리소그래피 + 패터닝 학술대회
8/12-13, 2024 Suwon Convention Center, Suwon-si, Gyeonggi-do, Korea / Online/Offline Hybrid
| 1st Day | Aug. 12, 2024 (Mon.)
09:00-10:25
PL-I Plenary Session 『405-408』
Chair: 김용진 (SK hynix)
Opening Remarks
프로그램위원장 개회사, 이병호 (히타치하이테크)
Plenary Talk 1
배근희 (삼성전자)
Plenary Talk 2
Erik R. Hosler (FylEx and xLight)
10:45-12:15
EU-I-1
초청 민철기 (삼성전자)
EU-I-2
초청 이동근 (ESOL)
EU-I-3
초청 김동언 (포스텍)
MI-I-1
초청 한상현 (NOVA)
MI-I-2
초청 정재훈 (삼성전자)
MI-I-3
초청 장무석 (KAIST)
12:15-13:30
Lunch / Break
13:30-15:00
EU-II-1
초청 김황범 (SK hynix)
EU-II-2
초청 승병훈 (S&S TECH)
EU-II-3
초청 김형준 (한국세라믹기술원, KICET)
MI-II-1
초청 Sean Park (KLA)
MI-II-2
초청 장혜진 (서울대)
MI-II-3
초청 Eugen Foca (Zeiss)
ET-I-1
초청 이재원 (SK hynix)
ET-I-2
초청 임연호 (전북대)
ET-I-3
초청 정진욱 (한양대)
15:20-16:50
PL-II Plenary Session II 『405-408』
Chair: 이명준 (삼성전자)
Welcome Remarks
조직위원장 환영사, 안진호 (한양대)
한국광학회 (차기)회장 축사, 이상민 (KAIST)
Plenary Talk 3
양유신 (삼성전자)
Plenary Talk 4
서재욱 (SK hynix)
17:10-18:30
Panel Discussion 『405-408』
Chair: 이상설 (포스텍)
주제
“Scale down (EUV HNA Challenges) + 3D Architecture”
패널: 고차원(연세대), 김재현(SK hynix), 양유신(삼성전자), 배근희(삼성전자), 서재욱(SK hynix), 최리노(인하대)
18:30-20:30
Banquet 『마키노차야 광교점』
진행: 남정림 (한양대)
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