Panel Discussion
2024년 8월 12일(월) 17:10~18:40 수원컨벤션센터 405-408호
주제: “Scale down (EUV HNA Challenges) + 3D Architecture ”
- 좌 장이상설 교수(포스텍)
- 패 널고차원(삼성전자), 김재현(SK hynix), 양유신(삼성전자), 배근희(삼성전자), 서재욱(SK hynix), 최리노(인하대학교)
| 시간 |
프로그램 |
내용 |
| 17:10 |
개 회 |
개회 및 패널 소개 |
| 17:12 |
발제발표 |
3차원 반도체의 시대: 지속 가능한 신 무어의 법칙으로 가는 길은 무엇인가? |
| 17:15 |
주제발표 |
3D 반도체 시대의 리소그래피에 대한 6인 전문가의 한 줄 평가 |
| 17:30 |
지정토론 |
- 3차원 반도체 시대, 리소그래피의 미래와 반도체 산업의 방향
- 초미세화 도전 과제, High-NA EUV 시대의 리소그래피 재료, 공정 기술의 과제
- 무어의 법칙 한계를 극복할 새로운 기술 대응 방향
- 미래의 반도체人, 학생들에게 보내는 선배들의 한마디
|
| 18:00 |
자유토론 |
청중 질의 및 패널 답변 |
| 18:30 |
폐 회 |
정리 및 폐회 |
이상설 (포스텍)
- 2023 ~ Present: Affiliate Professor (Department of Semiconductor Engineering, POSTECH)
- 2020 ~ Present: Manager (PAL-EUV synchrotron team, PAL, POSTECH)
- 2017 ~ Present: CTO (Xavisoptics)
- 2015 ~ Present: Senior Scientist (Pohang Accelerator Laboratory, POSTECH)
- 2016 ~ 2019: Board of director (Lithography, Korean Synchrotron Radiation User's Association)
- 2012 ~ 2015: Research Scientist (Paul Scherrer Institute, Switzerland)
- 2012: Ph.D. Materials Science and Engineering (Hanyang University)
고차원 (연세대)
- 2023 ~ 현재 연세대학교 신소재공학과 산학협력 중점 교수
- 2014 ~ 2023 삼성전자 반도체연구소 소재개발팀 수석연구원
- 2010 ~ 2014 삼성전자 반도체연구소 EUV T/F 수석연구원
- 2008 ~ 2010 SEMATECH EUV Resist Project Manager
- 2004 ~ 2008 삼성전자 반도체연구소 공정개발팀 포토공정 책임연구원
- 1995 ~ 2003 SK하이닉스 반도체연구소 선행공정개발팀 포토공정 책임연구원
- 1989 ~ 1995 포항공과대학교 화학과 학사/석사
김재현 (SK hynix)
- 2022 - 현재 SK hynix EUV소재기술 담당, 펠로우
- 2023 서울법대 최고지도자(ALP)과정 수료
- 2019 - 2021 Tsinghua-INSEAD EMBA
- 2013 - 2014 Samsung Austin Semiconductor 주재원
- 2000 - 2019 삼성전자 반도체사업부 소재기술 그룹장
- 2000 서울대학교 공업화학과 박사
양유신 (삼성전자)
- 2022 삼성전자 Fellow 선임
- 2015 삼성전자 Master 선임
- 2000 삼성전자 입사
- 2000 KAIST 물리학과, 박사
- 1995 KAIST 물리학과, 석사
- 1993 KAIST 물리학과, 학사
배근희 (삼성전자)
- 2020 삼성전자 Master 선임
- 2019-현재 SPIE Advanced Litho+Patterning, Etch Committee Member
- 2002 삼성전자 입사
- 2002 KAIST 물리학과, 박사
서재욱 (SK hynix)
- 2022-현재 Vice President, R&D Photo Process, SK hynix
- 2019 Head of the Advanced Photo Team, SK hynix
- 1998 SK hynix 입사
- 1998 연세대 세라믹공학과, 학사
최리노 (인하대)
- 2012-2014 산업기술평가관리원 반도체공정장비PD
- 2007-현재 인하대학교 신소재공학과, 교수
- 2004-2007 SEMATECH, Project manager
- 2004 University of Texas at Austin 재료공학과, 박사
- 1994-1999 대우자동차, 연구원
- 1994 서울대학교 무기재료공학과, 석사
- 1992 서울대학교 무기재료공학과, 학사
