Panel Discussion
2025년 8월 11일(월) 17:15~18:25 수원컨벤션센터 405-408호
주제: “3D Era.에서의 Litho, Etch, MI 역할과 전망 ”
- 좌 장고차원(연세대)
- 패 널 이명준(삼성전자), 양승훈(삼성전자), 김용진(SK hynix), 신태호(ICD), Ethan C. B. Lee(삼성SDI), 이병호(Hitachi High-Tech)
| 시간 |
프로그램 |
내용 |
| 17:15 |
개 회 |
개회 및 패널 소개 |
| 17:17 |
발제발표 |
미래 패터닝 (1년, 3년, 5년 후)을 위해서 지금 우리는 무엇을 해야 하는가? |
| 17:20 |
주제발표 |
3D Era.에서의 Litho, Etch, MI 역할과 전망에 대한 6인 전문가의 한 줄 평가 |
| 17:45 |
지정토론 |
- High-NA EUV 및 3차원 반도체 시대, 리소스그래피의 과제 및 역할과 전망
- High-NA EUV 및 3차원 반도체 시대, Etch의 과제 및 역할과 전망
- High-NA EUV 및 3차원 반도체 시대, MI의 과제 및 역할과 전망
- 미래의 반도체人, 학생들에게 보내는 선배들의 한마디
|
| 18:15 |
자유토론 |
청중 질의 및 패널 답변 |
| 18:25 |
폐 회 |
정리 및 폐회 |
고차원 (연세대)
- 2023 - 현재 연세대학교 신소재공학과 산학협력 중점 교수
- 2010 - 2023 삼성전자 반도체연구소 소재개발팀 수석연구원
- 2010 - 2014 삼성전자 반도체연구소 EUV T/F 수석연구원
- 2008 - 2010 SEMATECH EUV Resist Project Manager
- 2004 - 2008 삼성전자 반도체연구소 공정개발팀
- 1995 - 2003 SK hynix 반도체연구소 선행공정개발팀
- 1989 - 1995 포항공과대학교 화학과 학사/석사
이명준 (삼성전자)
- 2017 - 현재 상무/랩장, 차세대공정개발팀, 반도체 연구소, 삼성전자
- 2014 - 2017 Research Scientist, KLA, Milpitas, CA
- 2013 - 2014 Principal Engineer, Globalfoundries/IBM, Albany,NY
- 2011 - 2013 Scientist, Nanometrics (현 Onto), Milpitas, CA
- 2010 - 2011 Post-Doc Fellow, University of California at Los Angeles (UCLA)
- 2010 Ph.D, ECE/Optics, The University of Arizona
양승훈 (삼성전자)
- 2020 - 현재 삼성전자 Master 선임
- 2009 Unversity of Arizona, Optical Science 박사
- 1999 삼성전자 입사
- 1998 고려대학교 전자공학과 석사
- 1996 고려대학교 전자공학과 학사
김용진 (SK hynix)
- 2023 - 현재 SK hynix university professor
- 2013 - 2022 SK hynix 미래기술 연구원 Research Fellow
- 2011 - 2013 한국 램리서치 Dry Etch 기술담당 상무
- 2011 - 2011 성균관대학교 연구교수
- 1995 - 2011 삼성전자 반도체 연구소 수석 연구원
- 1990 - 1995 한국과학기술원 (KAIST) 물리학 석/박사 (플라즈마 물리전공)
신태호 (ICD)
- 2021 - 현재 ICD㈜ 반도체 사업부장 (부사장)
- 2015 - 2017 GETT㈜ 대표이사
- 2015 - 2021 성균관대학교 신소재공학부, 초빙교수
- 2007 - 2014 세메스㈜ 플라즈마 장비 사업부장
- 1996 - 2006 Applied Materials Technical Staff
- 1990 - 1996 Stevens Institute of Tech.(미) 석사. 박사
- 1982 - 1988 한양대학교 학사. 석사
Ethan C. B. Lee (삼성SDI)
- 2024-현재 Samsung SDI, 전자재료사업부 Vice Presidentx
- 2006 - 2024 DuPont E&I (MA, USA) Global Advanced Patterning Technology Leader / Strategy Marketing Specialist
- 2004 - 2006 DuPont Photomask (Toppan Printing) Research Scientist
- 2022 - 2004 Dongjin Semichem Research Engineer
- 2000 - 2002 연세대학교 화학공학과 석사
이병호 (Hitachi High-Tech)
- 2002 - 현재 Senior Fellow, Hitachi High-Tech
- 2016 - 2021 Fellow, SK hynix
- 2016 - 2016 Director of Integrated Metrology, Nanometrics
- 2013 - 2016 VP of Technologist, Ultratech
- 2002 - 2013 Principal Engineer, Samsung Electronics
- 2002 Ph.D., Chemistry, KAIST (Korea Advanced Institute of Science and Technology)
