2024 차세대 리소그래피 + 패터닝 학술대회
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8/12-13, 2024
Suwon Convention Center, Suwon-si, Gyeonggi-do, Korea / Online/Offline Hybrid
| 1st Day | Aug. 12, 2024 (Mon.)
08:00-09:00
Registration
09:00-10:25
PL-I Plenary Session 『405-408』
Chair: 김용진 (SK hynix)
Chair: 김용진 (SK hynix)
- Opening Remarks 프로그램위원장 개회사, 이병호 (히타치하이테크)
- Plenary Talk 1 배근희 (삼성전자)
- Plenary Talk 2 Erik R. Hosler (FylEx and xLight)
10:25-10:45
Break
10:45-12:15
- EU-I-1 초청 민철기 (삼성전자)
- EU-I-2 초청 이동근 (ESOL)
- EU-I-3 초청 김동언 (포스텍)
- MI-I-1 초청 한상현 (NOVA)
- MI-I-2 초청 정재훈 (삼성전자)
- MI-I-3 초청 장무석 (KAIST)
12:15-13:30
Lunch / Break
13:30-15:00
- EU-II-1 초청 김황범 (SK hynix)
- EU-II-2 초청 승병훈 (S&S TECH)
- EU-II-3 초청 김형준 (한국세라믹기술원, KICET)
- MI-II-1 초청 Sean Park (KLA)
- MI-II-2 초청 장혜진 (서울대)
- MI-II-3 초청 Eugen Foca (Zeiss)
- ET-I-1 초청 이재원 (SK hynix)
- ET-I-2 초청 임연호 (전북대)
- ET-I-3 초청 정진욱 (한양대)
15:00-15:20
Break
15:20-16:50
PL-II Plenary Session II 『405-408』
Chair: 이명준 (삼성전자)
Chair: 이명준 (삼성전자)
- Welcome Remarks 조직위원장 환영사, 안진호 (한양대)
- 한국광학회 (차기)회장 축사, 이상민 (KAIST)
- Plenary Talk 3 양유신 (삼성전자)
- Plenary Talk 4 서재욱 (SK hynix)
16:50-17:10
Break
17:10-18:30
Panel Discussion 『405-408』
Chair: 이상설 (포스텍)
Chair: 이상설 (포스텍)
- 주제
- “Scale down (EUV HNA Challenges) + 3D Architecture”
- 패널: 고차원(연세대), 김재현(SK hynix), 양유신(삼성전자), 배근희(삼성전자), 서재욱(SK hynix), 최리노(인하대)
18:30-20:30
- Banquet 『마키노차야 광교점』
- 진행: 남정림 (한양대)
Full Day
| 2nd Day | Aug. 13, 2024 (Tue.)
08:00-09:00
Registration
09:00-10:30
PS Poster Session 『4th Floor Lobby』
10:30-12:00
PL-III Plenary Session III 『405-408』
Chair: 허성민 (ASML)
Chair: 허성민 (ASML)
- Appreciation Remarks 프로그램위원장 감사의 말씀, 이준호 (공주대)
- Plenary Talk 5 성낙근 (ASML)
- Keynote Talk 1 Simon Lee (KASASV)
12:00-13:30
Lunch / Break
13:30-15:00
- PM-I-1 초청 정현담 (전남대)
- PM-I-2 초청 서용범 (삼성전자)
- PM-I-3 구예진 (인하대)
- PM-I-4 윤세현 (전남대)
- LO-I-1 초청 김은주 (삼성전자)
- LO-I-2 초청 김성호 (SK hynix)
- LO-I-3 초청 송정철 (National NanoFab)
- AL-I-1 초청 심태섭 (아주대)
- AL-I-2 초청 강문성 (서강대)
- AL-I-3 초청 정현호 (GIST)
15:00-15:20
Break
15:20-16:50
- PM-II-1 초청 윤효재 (고려대)
- PM-II-2 초청 이진균 (인하대)
- PM-II-3 김현석 (전남대)
- LO-II-1 초청 Ulrich Welling (Synopsys)
- (Online)
- AL-II-1 초청 노유신 (건국대)
- AL-II-2 초청 한상윤 (DGIST)
- AL-II-3 초청 김인기 (성균관대)
16:50-17:10
Break
17:10-17:30
CL Closing Session 『405/406』
Chair: 김성환 (한양대)
Chair: 김성환 (한양대)
- Best Student Paper Awards Ceremony 학생논문상 심사평, 김성환 (한양대)
- 학생논문상 시상, 정진항 (ASML)
- Closing Remarks 조직위원장 폐회사, 박종락 (조선대)
Full Day
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